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| 分子泵維修 |
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分子(zi)泵結構特(te)點 泵腔內有可旋轉的轉子，轉子的四周帶有溝槽并用擋板隔開。每一個溝槽就相當于一個單級分子泵，后一級的入口與前一級的出口相連。轉子與泵殼之間有 0.01mm 的間隙。氣體分子由入口進入泵腔，被轉子攜帶到出口側，經排氣管道由前級泵抽走。牽引分子泵的優點是起動時間短，在分子流態下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。但同于它自身的弱點：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故障等，因此除特殊需要外，實際上很少應用。曾一度被結構和制造簡單，抽速大的擴散泵所代替。
就是在油擴散泵開始得到廣泛應用的時代，人們在牽引分子泵的結構改進方面仍然做了許多工作。如 Holweck 、 Siehbahn 、 Gondet 等先后對 Gaede 型分子泵做了許多改進，提出了很多不同結構的新型牽引分子泵。但由于其結構仍較復雜，抽速低，因此未能得到廣泛應用。 分子泵的原理(li) 分(fen)子泵(beng)是利用(yong)高(gao)速(su)旋(xuan)轉(zhuan)的轉(zhuan)子把動量傳(chuan)輸給(gei)氣(qi)體分(fen)子，使之獲(huo)得(de)定(ding)向(xiang)速(su)度，從而被(bei)(bei)壓縮、被(bei)(bei)驅(qu)向(xiang)排(pai)氣(qi)口后為前級抽走(zou)的一(yi)種真空泵(beng)牽引(yin)分(fen)子泵(beng)氣(qi)體分(fen)子與(yu)高(gao)速(su)運動的轉(zhuan)子相碰撞而獲(huo)得(de)動量，被(bei)(bei)驅(qu)送(song)到(dao)泵(beng)的出口。
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