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標準刀具/刀具多功能涂層系統 |
標準刀具/刀具涂(tu)層系統 野馬真空系統制造了一系列的專業,卓越的吞吐量和出色的重復性PVD刀具涂層系統可配備多個高利率,磁增強非平衡磁控濺射,的HIPIMS或操縱陰極電弧蒸發沉積的陰極安排和線性離子源基板蝕刻。 工(gong)藝(yi)參數,進(jin)行(xing)配方處理和(he)設備控制由一個(ge)完全集成的,可靠(kao)的PLC / PC系統,帶觸摸(mo)屏和(he)遠程訪(fang)問能力(li)。 標準系(xi)統(tong)包括(kuo)多個(ge)質量(liang)流量(liang)控制(zhi)器,可配(pei)置系(xi)統(tong),使控制(zhi)存在(zai)的(de)一(yi)系(xi)列預選功工(gong)作和惰性氣體,包括(kuo)氮(dan),各種烴(jing)類,氧/空氣和氬(ya)氣的(de)沉積。 基板(ban)溫(wen)度(du)通過輻(fu)射采暖選擇用熱電偶反饋控制通常范(fan)圍在(zai)200°C到最高600°C溫(wen)度(du)敏感的鋼構件(jian)以及允許沉積硬(ying)質(zhi)合(he)金。 抽真空選項通常包括擴散或渦輪分子系統與polycold單位增加抽空結合速度旋轉和羅茨鼓風機。 3倍的(de)(de)(de)(de)行星旋轉轉盤助劑涂層的(de)(de)(de)(de)均勻性,而涂層結(jie)構控制和致密化(hua)的(de)(de)(de)(de)使用已取得的(de)(de)(de)(de)使用直流(liu)或交流(liu)電壓為(wei)標準的(de)(de)(de)(de)偏置。 產(chan)業規模交鑰匙的配方可以(yi)(yi)向客戶提供以(yi)(yi)下標準(zhun)單片(pian)結構(gou)刀具涂層:
| 氮化 | TICN | 氮化鋯 | ZrCN | 氮化鉻 | TiAlN涂層 | TiAlCN | AlTiN涂層 | AlCrN | 顏色 | 金 | 藍色/灰色 | 香檳酒 | 各種/銅 | 銀 | 深灰/紫 | 灰色 | 深藍色(se)/黑色(se) | 灰色 | 硬度(HV) | 2500-3000 | 2400-3200 | 2000-2700 | 2000-3000 | 1800-2800 | 2300-3000 | 2500-3200 | 2400-3100 | 2600-3100 | 厚(hou)度(du)(μm) | 1-4 | 1-3 | 1-4 | 1-3 | 1-5 | 1-4 | 1-3 | 1-4 | 1-4 | 最高使用溫(wen)度(℃) | 500 | 400 | 500 | 400 | 700 | 800 | 700 | 850 | 900 | 摩擦系數(100CR6與) | 0.5 | 0.3 | 0.5 | 0.35 | 0.5 | 0.55 | 0.4 | 0.55 | 0.5 |
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