真空(kong)計校(xiao)準(zhun)是(shi)真空(kong)測量(liang)(liang)的(de)基礎(chu),是(shi)研究和發(fa)展真空(kong)測量(liang)(liang)的(de)有力工(gong)具。
它不(bu)但能使(shi)已有(you)的(de)相對真空計統一在可(ke)靠的(de)標準之下,而且(qie)還可(ke)對發展中的(de)真空計進行性能的(de)研(yan)究。
所謂(wei)“真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空計校準(zhun)”就(jiu)是對(dui)相對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空計進行(xing)“刻度”。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空計刻度是在一定(ding)條件下對(dui)一定(ding)種類(lei)氣(qi)(qi)體(ti)進行(xing)的(de),從而得到校準(zhun)系數或(huo)刻度曲線(xian)。因此氣(qi)(qi)體(ti)種類(lei)的(de)改變或(huo)工作條件的(de)變化(hua),原(yuan)校準(zhun)曲線(xian)就(jiu)不(bu)能使用,必須(xu)重新進行(xing)校準(zhun)。同一臺測量(liang)(liang)儀器,更換規管時校準(zhun)曲線(xian)也(ye)會(hui)發(fa)生(sheng)變化(hua)。由(you)此觀(guan)之(zhi),對(dui)相對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空計校準(zhun)是非常必要的(de),又要定(ding)期(qi)進行(xing),否則會(hui)產生(sheng)超(chao)過允許(xu)的(de)測量(liang)(liang)誤差。
校準是對真(zhen)(zhen)空(kong)計整體而言,既包括(kuo)(kuo)所謂的(de)一次(ci)儀表(biao)的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)規管,又包括(kuo)(kuo)所謂的(de)二(er)次(ci)儀表(biao)的(de)電(dian)(dian)子線路(lu)。通常(chang)是二(er)者(zhe)合(he)在(zai)一起(qi)進行校準,也(ye)可(ke)以分(fen)別對真(zhen)(zhen)空(kong)計規管和電(dian)(dian)子線路(lu)進行校準,而后(hou)者(zhe)是較為理想的(de)。
真(zhen)空計校準(zhun)的前提是必須有標(biao)準(zhun)真(zhen)空計和(he)校準(zhun)系統,并通過(guo)一定方法進行(xing)。
真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)標(biao)(biao)準(zhun)(zhun)有絕對(dui)(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)(ji)、標(biao)(biao)準(zhun)(zhun)相對(dui)(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)(ji)(或副標(biao)(biao)準(zhun)(zhun)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)(ji))和絕對(dui)(dui)校(xiao)(xiao)準(zhun)(zhun)系統(tong)。所(suo)有絕對(dui)(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)(ji)均可作(zuo)為真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)標(biao)(biao)準(zhun)(zhun)。而以(yi)絕對(dui)(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)(ji)為基準(zhun)(zhun),將經過壓(ya)力(li)衰減后精(jing)確(que)計(ji)(ji)算(suan)出的再生低壓(ya)力(li)作(zuo)為標(biao)(biao)準(zhun)(zhun)的真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)(ji)校(xiao)(xiao)準(zhun)(zhun)系統(tong)稱為絕對(dui)(dui)校(xiao)(xiao)準(zhun)(zhun)系統(tong)。
如(ru)膨脹(zhang)法校準系統(tong)應(ying)用靜力熱平衡,其(qi)理論基礎為(wei)理想(xiang)氣體的(de)玻意耳定(ding)律,把(ba)U型管壓(ya)力計(ji)校準下限(xian)延伸至(zhi)高(gao)(gao)真空(10-4Pa)。穩(wen)定(ding)性和精度高(gao)(gao)的(de)真空計(ji),經過校準之(zhi)后,可作為(wei)次級標準,對工作真空計(ji)進(jin)行校準,稱這種真空計(ji)為(wei)副標準真空計(ji)。
在計量學中,所謂標準是按精度等級排列的一個體系。國家技術監督局批準并于1990年5月1日實施“真空計量器具檢定系統"(JJG2022—89)。根據當前真空技術發展水平,真空獲得和真空測量范圍,已從大氣壓(105Pa)至極高真空(< lO-10Pa)。但工業生產和科學研究中,實際廣泛應用的壓力范圍為10-8~105Pa。
為了(le)保證該(gai)范圍(wei)內真空度(du)(du)量(liang)(liang)值(zhi)的(de)準確一(yi)致,制定(ding)了(le)檢定(ding)系統(tong),進行(xing)真空度(du)(du)量(liang)(liang)值(zhi)傳遞,檢定(ding)各級真空計(ji)時器具(ju)。該(gai)檢定(ding)系統(tong)主(zhu)要適用(yong)于lO-8~lO5Pa范圍(wei)內,計(ji)量(liang)(liang)、科研和(he)工業部門使用(yong)的(de)真空標準裝(zhuang)置和(he)真空計(ji)的(de)檢定(ding)。
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