由于(yu)各種真空泵的(de)性(xing)能(neng)除(chu)均能(neng)滿足(zu)對容器(qi)進行抽真空的(de)共同點之(zhi)外(wai),尚(shang)具有不同之(zhi)處。因此在選用時必須明確泵在真空系統中所承擔的(de)工作任務是十分重要的(de)。
1、在系(xi)統中做主泵
所謂主(zhu)泵就(jiu)是對真(zhen)(zhen)空(kong)系統被抽容器直接進(jin)行(xing)抽真(zhen)(zhen)空(kong),以獲得滿足工藝要求所需真(zhen)(zhen)空(kong)度的真(zhen)(zhen)空(kong)泵。
2、前級泵
前(qian)級泵(beng)是指用(yong)于(yu)使另一個泵(beng)的(de)前(qian)級壓強維持在其最高許(xu)可(ke)的(de)前(qian)級壓強以(yi)下的(de)真空(kong)泵(beng)。
3、超高真空泵
超高真空(kong)泵(beng)是指在超高真空(kong)范圍工作的(de)真空(kong)泵(beng)。
4、粗抽泵
粗(cu)抽泵是指從大氣壓開始降低真(zhen)空(kong)系統壓強(qiang)達到另一抽氣系統可(ke)以開始工作的真(zhen)空(kong)泵。
5、增壓泵
增壓泵(beng)(beng)通常指(zhi)工作在低(di)真(zhen)空泵(beng)(beng)和高真(zhen)空泵(beng)(beng)之間(jian),用(yong)以提高抽氣系統在中間(jian)壓強范圍的抽氣量(liang)或降低(di)前級(ji)泵(beng)(beng)抽氣速率(lv)要求的真(zhen)空泵(beng)(beng)。
6、維持泵
維持泵是指當(dang)真空(kong)系(xi)統抽(chou)氣很小時,不(bu)能有效的(de)(de)利用(yong)主要前級(ji)泵。為此,在真空(kong)系(xi)統中(zhong)另配一種抽(chou)氣速(su)度較(jiao)小的(de)(de)輔助前級(ji)泵來維持主泵的(de)(de)正常工(gong)作或維持已(yi)抽(chou)空(kong)的(de)(de)容器所需的(de)(de)低壓的(de)(de)真空(kong)泵。
7、粗真(zhen)空泵或低真(zhen)空泵
粗(cu)、低真(zhen)空(kong)泵是(shi)指從大氣開(kai)始(shi),降低被(bei)抽容器的壓強后工作在低真(zhen)空(kong)或(huo)粗(cu)真(zhen)空(kong)壓強范圍(wei)內的真(zhen)空(kong)泵。
8、高真空泵
高真(zhen)空(kong)泵是指在高真(zhen)空(kong)范圍工作的真(zhen)空(kong)泵。
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